1、二次電子（zǐ）分辨率：0.4nm @15kV；0.7nm @1kV；0.8nm @500V；1.2nm @200V；
2、大束流二次電子分辨率：1.9nm@15kV（工作距離10mm，束流6.5nA下）
3、大工（gōng）作距（jù）離分辨率：工作（zuò）距離WD=10mm時，1kV下分辨率1.0nm；
4、電子束（shù）流範圍：最小束流1.0pA，最大束流（liú）50nA；
5、光（guāng）闌（lán）：自加熱式（shì）光闌，可（kě）保（bǎo）證清潔（jié）和無接觸式光闌更換；
7、采用肖特基熱場發射電子槍；

1、樣品（pǐn）室：內寬340mm，分析工作（zuò）距離10mm，端口12個；
2、樣品台：五軸馬達驅動，X移動範圍110mm，Y移（yí）動範圍110mm，Z移動範圍65mm，T傾（qīng）斜角（jiǎo）度-15°～+90°，n*360°旋轉；
3、配備電子束減速模式：樣品台偏壓範圍-4000V至+600V；
4、配備極靴（xuē）清理模（mó）塊,用於清洗極靴內部（bù）的灰塵顆粒等汙染物；

1、樣品（pǐn）室二次電子探測器1個；
2、透鏡內二次電子探測器1個；
3、透鏡內高敏感背散射電子探測器1個，可在50V電（diàn）壓下采（cǎi）集背（bèi）散（sàn）射電子圖像，適用（yòng）於各類不導電和導電樣品背散射電（diàn）子圖像（xiàng）觀察；
4、鏡筒內高分（fèn）辨二次電子探測（cè）器1個，可探測樣品電位襯度；
5、電子束束流計1個；
6、紅外CCD相（xiàng）機1個；
7、宏觀導航相機（安裝在樣品倉內）1個，視野160*105mm，3072*2048像素，具備（bèi）自（zì）動圖像采集、數字變焦（jiāo）、圖像注（zhù）釋、圖像保存功能（néng）；
8、獨立探測（cè）器和相機的數量7個；

1、圖像（xiàng）存儲分辨率：60k ×60k像素（非疊加下）；
2、一鍵實（shí）現光路自動合軸、自動消像散及自動聚焦；
3、四活動（dòng）窗口顯示，可同時顯示4幅不同探測器圖像；

1、配（pèi）置自動圖像拍照和拚（pīn）接軟件，可實現不小於7×24小時無（wú）人值守自動拍照和圖像拚接，可（kě）實時（shí）對已選定視場進行回溯；
2、電鏡操作應（yīng）具備取消重做功能，可返回任意一步操作；
3、具有樣品台（tái）圖像導航功能，雙擊鼠標移動樣品功（gōng）能，鼠標拖曳式放大及對中功（gōng）能；
4、具有基礎操作應用的（de）向導，使用超鏈接操作電鏡，實現新手快速入門；

1、探測器：矽漂移（SDD）電製冷探測器，60平方（fāng）毫米有效（xiào）麵積；
2、能量分辨率：在100,000CPS條件下Mn Ka保證優於129eV；
3、自動譜峰識（shí）別和（hé）用戶輔助手動譜峰識別，動態無標準定量；
4、自動馬達台控製能（néng）譜儀的伸（shēn）縮，確保能譜儀能（néng）自動到達理想探測位置；

可對樣品進行鍍金，適用於場發射掃描電子顯（xiǎn）微鏡觀察

1、碳導電（diàn）膠5卷，銀膠1管，標準樣（yàng）品台100個；
2、UPS電源，10KVA，續航1小時（shí）；